在工業廢氣處理中，首先要考慮廢氣的污染因子、濃度和排放量，其次要考慮去除效率。在理解上述兩個方面的基礎上，應該考慮什么樣的過程。但應進一步分析廢氣的溫度、濕度、污染因子（熔點、沸點、易燃易爆性、水溶性、鹵素和粘度）特性和非有機污染因子（如顆粒物）。同時，還應考慮處理過程的安全性、經濟性和穩定性。

活性炭凈化柜和催化燃燒均可單獨使用或組合使用。該組合主要利用兩者的互補性：活性炭吸附適用于大風量、低濃度廢氣，催化燃燒適用于小風量、高濃度廢氣，活性炭吸附的有機物在高溫下可以解吸。從另一個角度看，這種組合工藝可以看作是活性炭的現場再生利用工藝，不僅降低了吸附飽和后活性炭的置換成本，同時也避免了因吸附飽和而無法及時更換活性炭而造成的過度排放風險。催化燃燒的目的是利用貴金屬催化劑降低廢氣中有機物的活化能，使有機物在較低溫度（一般在250-300℃左右，不同組分有機物的催化燃燒溫度不同）下實現無焰燃燒。活性炭凈化柜的原理是廢氣通過催化劑時，先吸附在催化劑表面，然后在一定溫度下發生催化燃燒，達到凈化的目的。目前，有機廢氣處理中常用的催化劑有蜂窩狀鈀金屬催化劑和鉑金屬催化劑。催化燃燒方法包括電加熱和燃氣加熱。燃燒類型包括直接催化燃燒（CO）和再生催化燃燒（RCO）。催化燃燒一般適用于空氣量小、濃度高、溫度高的氣態有機物，廢氣中不能含有硫、鉛、汞、砷、鹵素等對催化劑有毒害作用。